DRAM細微化已逐漸邁入極限,未來電晶體電流通道將改為垂直結構或朝3D-DRAM發展,而以IGZO為代表的氧化物半導體,由於和半導體3D化技術具有極佳相容性,而成為次世代記憶體材料首選。本文觀察VLSI 2025各廠商與學研團隊,相繼發表的應用研究,解析IGZO實現次世代記憶體的研發動向,提供產業參考。
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