日前亞太優勢接手華邦的五吋製程設備，投入MEMS領域。而華新麗華則已擁有四吋與六吋MEMS晶圓廠。一時之間台灣廠商出現微機電系統（Micro Electro-Mechanical Systems，以下簡稱MEMS）熱。本文即就MEMS之產品簡介，台灣廠商投入概況，並就策略的思考方向作一分析。