CMOS LSI技術已發展多年，隨著應用產品和元件仍將不斷微小化，CMOS LSI的技術已逐漸由高速化邁向低耗電化。今後更將走向能量效率化。後續影響CMOS LSI成敗關鍵將取決於極低電壓技術與3Ｄ技術。本文將由CMOS LSI技術發展歷程與未來發展趨勢做分析。