手機應用驅動MEMS麥克風朝向單晶片整合模式發展
  • 151
  • 出版日期
    03月23日, 2009
  • 作者
    龔俊光
  • 關鍵字
前言
因為MEMS麥克風具備優異之抗雜訊能力,以及尺寸微型化趨勢,自從Motorola將其使用於超薄型手機RAZR之後,現已吸引眾多手機廠商開始在部分產品中採用MEMS麥克風。展望未來發展,相關廠商投入CMOS MEMS製程開發,企圖利用CMOS半導體材料與製程技術,突破一般MEMS製程的少量多樣生產模式,以擴大生產規模、降低成本,加速市場普及應用。此外,亦應用CMOS半導體製程特性,進一步開發MEMS麥克風產品之單晶片整合技術。
目錄
    手機應用興起,眾多廠商投入MEMS麥克風開發
    微型化、降低干擾與高整合性是主要趨勢
    CMOS MEMS製程將使MEMS麥克風更具優勢
    結論
     
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